Die Ebenheit der Dichtflächen hält Ihre Vakuumkammer leckagefrei Diese CNC-gefrästen Halbleiterkammerteile sind die tragenden Wände und Gasverteilungsringe für Ätz-, Abscheidungs- und Ionenimplantatio
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Die Ebenheit der Dichtflächen hält Ihre Vakuumkammer leckagefrei Diese CNC-gefrästen Halbleiterkammerteile sind die tragenden Wände und Gasverteilungsringe für Ätz-, Abscheidungs- und Ionenimplantatio
Diese CNC-gefrästen Halbleiterkammerteile sind die tragenden Wände und Gasverteilungsringe für Ätz-, Abscheidungs- und Ionenimplantationsanlagen. Wir bearbeiten die kritischen Dichtflächen auf eine Ebenheit von 0,005 mm und halten eine Oberflächengüte von Ra 0,4 µm an den O-Ring-Nuten ein. Das bedeutet, dass Ihre Kammer ein Vakuum von 10⁻⁶ Torr ohne Elastomer-Klemmstellen hält. BQUQ betreibt seit 20 Jahren CNC-Produktion in Dongguan, sodass Sie diese Präzision bei einer Lieferzeit von 10 Tagen erhalten – nicht die 6 Wochen, die bei US-amerikanischen oder deutschen Werkstätten üblich sind.
Für plasmabeeinflusste Komponenten empfehlen wir Aluminium 6061-T6. Seine Wärmeleitfähigkeit (167 W/m·K) führt Wärme 10-mal schneller aus der Reaktionszone ab als 316L-Edelstahl. Wir spannungsarmglühen jede Platte vor der Bearbeitung, um innere Spannungen zu entfernen. Nach der Bearbeitung härten wir die Oberfläche durch Eloxieren auf 60 HRC-Äquivalent – dies verhindert Lichtbogenbildung und Partikelabrieb. Für Ionenimplantations-Endstationen verwenden wir 304L oder 316L mit einer elektropolierten Oberfläche von 32 Ra, um die Ausgasung auf unter 1×10⁻⁹ Torr·L/s·cm² zu reduzieren.
Ihre Kammerteile benötigen oft Gaseinlassanschlüsse in Winkeln von 15°, 30° oder 45°. Wir setzen DMG-MORI-5-Achsen-Fräsmaschinen ein, die diese schrägen Bohrungen in einer einzigen Aufspannung bearbeiten. Dies eliminiert den kumulativen Fehler durch erneutes Aufspannen. Die typische Positionsgenauigkeit der Anschlussabstände beträgt ±0,01 mm. Wir fertigen auch Innengewinde nach Klasse-2A-Passung – entscheidend für Heizpatronenbohrungen und Thermoelement-Aufnahmen, die unter thermischer Wechselbelastung dicht bleiben müssen.
Jede Charge Rohmaterial wird mit einem Werkszeugnis nach EN 10204 3.1 geliefert. Wir prüfen chemische Zusammensetzung und Härte, bevor wir schneiden. Für Aluminiumteile verwenden wir die T6-Vergütung (190 HB). Bei Edelstahl verwenden wir den lösungsgeglühten Zustand und führen auf Wunsch eine abschließende Vakuumauslagerung bei 400°C durch, um Wasserstoffversprödung zu beseitigen. Wir dokumentieren den Härtewert auf jedem Prüfprotokoll – Sie erhalten den tatsächlichen Messwert, keinen „typischen" Wert.
Wir prüfen 100 % der kritischen Merkmale, nicht nur eine Stichprobe. Eine Zeiss-KMM prüft alle Bohrungen, Lochbilder und Dichtflächen gegen Ihr 3D-Modell. Für Teile, die Vakuum halten müssen, führen wir einen Helium-Lecktest bis 1×10⁻⁹ mbar·L/s durch. Zusätzlich fotografieren wir das Teil neben einer kalibrierten Skala für Ihre Unterlagen. Sie erhalten mit jeder Lieferung einen vollständigen Prüfbericht – ohne Aufpreis.
Die Standardoberfläche beträgt Ra 0,8 µm an nicht dichtenden Bereichen und Ra 0,4 µm an Dichtflächen. Für korrosive Chemikalien wie Cl₂ oder HBr tragen wir eine 25 µm dicke Harteloxalschicht (Typ III) auf, die Angriffe abwehrt. Bei Edelstahlteilen bieten wir Elektropolieren an, das die kaltverfestigte Schicht entfernt und eine passive Chromoxidschicht hinterlässt. Wir verwenden kein Strahlen – es setzt Strahlmittelpartikel ein, die Waferdefekte verursachen.
Wir verpacken Teile doppelt in ESD-sichere Folie und versenden sie in holzverkleideten Kisten mit Schaumstoffpolsterung. Die äußere Kiste ist mit „Fragile – Vacuum Grade" gekennzeichnet und enthält ein Trockenmittelbeutel. Wir übernehmen alle Exportformalitäten, einschließlich Begasungszertifikat und Handelsrechnung. Der Versand per DHL oder FedEx an die Haustür dauert 3-5 Tage in die USA, die EU oder nach Japan. Für dringende Reparaturen können wir ein einzelnes Teil innerhalb von 48 Stunden per Luftfracht versenden.
| Spezifikation | Wert / Bereich |
|---|---|
| Materialien | Aluminium 6061-T6, 7075-T6, Edelstahl 304L/316L, Titan Grad 5 |
| Max. Teilgröße | 1200 mm x 800 mm x 400 mm |
| Dickenbereich | 2 mm bis 200 mm |
| Härte (Aluminium) | T6: 95 HB; Harteloxiert: 60 HRC-Äquivalent |
| Härte (Edelstahl) | Lösungsgeglüht: max. 200 HB |
| Bearbeitungstoleranz | ±0,005 mm (linear), ±0,01 mm (positional) |
| Oberflächengüte Ra | 0,4 µm (Dichtflächen), 0,8 µm (Standard), 0,2 µm (optisch) |
| Rundlauf (konzentrisch) | ≤0,005 mm von Bohrung zu Bohrung |
| Lieferzeit | 10 Tage Standard, 5 Tage Express |
| Mindestbestellmenge | Keine Mindestbestellmenge – 1 Stück oder 1000 Stück |
| Prüfung | 100 % KMM, Helium-Lecktest optional |
Wir benötigen Ihre 3D-STEP- oder IGES-Datei. Die 2D-Zeichnung erfasst die Oberflächenprofilangaben an komplexen gekrümmten Anschlüssen nicht. Senden Sie uns das Volumenmodell, und wir prüfen Wandstärke, Werkzeugzugänglichkeit und Innenradien. Wenn wir ein Fertigungsproblem feststellen, teilen wir Ihnen dies innerhalb von 4 Stunden mit – nicht erst, nachdem Sie für Werkzeuge bezahlt haben.
Wir speichern Ihre CNC-Programme, Vorrichtungen und Prüfroutinen 10 Jahre lang auf unserem Server. Bei einer Nachbestellung rufen wir das Programm ab, fertigen das Erstteil erneut und versenden innerhalb von 7 Tagen. Für Folgeaufträge berechnen wir keine erneute Einrichtungsgebühr. Bei Jahresverträgen können wir Sicherheitsbestände Ihres kritischen Rohmaterials vorhalten – teilen Sie uns einfach Ihre Prognose mit.
Null Mindestbestellmenge. Wir fertigen ein Prototyp oder 1000 Serienteile zum gleichen Stückpreis.
Ja, wir beziehen von zertifizierten Hüttenwerken in China, Taiwan und Japan; senden Sie uns Ihre ASTM- oder DIN-Spezifikation, und wir bestätigen die Verfügbarkeit innerhalb von 24 Stunden.
Wir verwenden dieselbe KMM-Prüfung und Materialzertifikate für ein einzelnes Stück wie für eine Charge von 1000 – keine Abkürzungen.
Wir können eine einfache Aluminiumplatte in 48 Stunden bearbeiten und per Luftfracht versenden; komplexe Mehranschlusskammern dauern 5-7 Tage.
Bereit, Ihre Kammerteile mit echter Präzision fertigen zu lassen? Senden Sie Ihr 3D-Modell und Ihre Stückzahl an sc@bquq.com. Wir senden Ihnen innerhalb von 12 Stunden ein verbindliches Angebot zurück, einschließlich Materialkosten, Bearbeitungszeit und Versandoptionen. Bei dringenden Fragen kontaktieren Sie uns per WhatsApp unter +86 13713157787. Keine Mindestbestellmenge, keine Konstruktionsgebühren, keine versteckten Werkzeugkosten – nur CNC-gefräste Halbleiterkammerteile, die Ihrem Leitfaden zu CNC-Bearbeitungstoleranzen entsprechen und Tausende von Prozesszyklen überdauern. Unsere Präzisionsfertigung in China basiert auf 20 Jahren Exporterfahrung. Wir helfen Ihnen auch bei der Auswahl der richtigen Werkzeuge für Ihre spezifische Legierung – lesen Sie unseren Leitfaden zur CNC-Schneidwerkzeugauswahl für Details. Senden Sie noch heute Ihre Zeichnung.
| Parameter | Fähigkeit |
|---|---|
| Materialien | AL6061/7075, SUS303/304/316, 45# Stahl, T2 Kupfer, H59 Messing, POM, PEEK, Nylon |
| Toleranz | ±0.005mm Standard, ±0.003mm auf Anfrage |
| Maschinen | 3/4/5-Achsen-CNC, Dreh-Fräsen, Swiss-Drehmaschine |
| Oberfläche | Eloxieren, Vernickeln, Verzinken, Passivieren, Sandstrahlen, Polieren |
| Größenbereich | Max. 400 x 300 x 200 mm |
| Prototyp | 72 Stunden, keine Mindestbestellmenge bei Mustern |
| Inspektion | Vollständiger Bericht pro Charge, CMM-Daten auf Anfrage |
